磁控溅射镀膜常见故障及解决办法
2021-01-09
磁控溅射 通过 在靶的阴极 表面 引入 磁场 并利用 磁场 抑制带电粒子 来提高 溅射 速率 ，从而 提高 等离子体 密度 。
磁控溅射 镀膜 工艺 在日常 操作 中有哪些 常见故障 ？
磁控溅射 镀膜 常见故障 及解决方法 。
1.无法 发光 。
(1)DC电源故障 ，检查 DC电源；
(2)氩气 入口 小，检查 氩气 流量计 或增加 氩气 入口 ；
(3)真空室 不够 干净 ，清洗 真空室 ；
(4)目标 的绝缘 程度 不够 ，检查 目标 是否 与地面 短路 。
在供水 的情况 下，对地电阻 应在50kω以上 ；
(5)磁场强度 不够 ，检查 永磁体 是否 消磁 ；
(6)真空度 太差 ，检查 真空系统 。
2.不稳定发光 。
(1)电压 和电流 不稳定，检查 电源 ；
(2)真空室 压力 不稳定，检查 氩气 入口 和真空系统 ；
(3)电缆故障 ，检查 电缆 连接 是否 良好 。
3.成膜 质量 差。
(1)基板 表面 的清洁度 差，所以 要清洁 基板 表面 ；
(2)真空室 洁净度 差，清洗 真空室 ；
(3)如果 衬底 温度 过高或过低，检查 温度 控制系统 并校准 热电偶 ；
(4)如果 真空室 中的压力 过高，检查 真空系统 ；
(5)如果 溅射 功率 设置 不当 ，检查 DC电源并设置 设置 功率 。
4. 溅射 率低。
(1)如果 氩气 吸入 量过大 或过小，观察 辉光 颜色 ，判断 氩气 吸入 量是否 过大或过小，并相应 调整 氩气 吸入 量；检修 流量计 ；
(2)靶材 过热 ，检查 冷却 水流量 ；
(3)检查 永磁体 是否 消磁 。
