真空镀膜设备的维护和维修

真空镀膜设备维护部分

1.1、机械真空泵的维护和保养：

 (1)泵及其四周环境应经常保持清洁。

 (2)泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。

 (3 )不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。

 (4)泵在使用中温升不能超过70 C。

 (5)新泵在使用100 h左右应换1〜2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可

 加长换油期限。根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期限。

 (6)新泵和修理后的泵应现作运转试验4〜6h，检查泵是否符合 使用要求。

 (7)泵使用较长时间以后(2〜3年不等)，极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应

 对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。

 (8)泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切

 断与系统连接的真空管(关低真空阀或夹真空夹)，防止喷油，污染工作场地。

 (9)泵上所有机件，非必要，切勿自行拆卸。(10 )泵不用时，应用橡皮塞(帽)

把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。 (11)经常注意真空技术发展动向，尽量及早地引入新技术、新材料(如新泵油等)，以改 进原有系统的性能。以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。

1.2、整套设备的日常维护：

(1)操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。

(2)冷却水水压应保持0.1〜0.2 Mpa之间，出水温度w 45C。

(3)压缩空气压力在0.4〜0.5 Mpa之间。

(4)每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。 

(5)开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。

(6)   经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。

(7)    (7 )设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。

(8)机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把

废油放干净。

(9)扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。

(10)充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。

(11)本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。

(12)设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有 带有水份及沾有非真空类用

油的抹布擦拭。

(13 )气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。

(14)设备的整机电压要保证在350〜420 V范围内。三相要平衡。

(15)规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，

防止漏气。以 上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。

(16 )各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。

(17)设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出

（18 ）设备的使用环境，在相对湿度85%A下，温度在10〜40 C。在拆修设备时，各部分不

 许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。

（19）设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。

真空镀膜设备维修部分

2.1真空镀膜设备维修的要点：

 维修真空设备的要点是判断故障。往往是真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，也许真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏高，又或者两种可能都有。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空

计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门

的问题上来，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油污染了，氧化了；或是前级管路密封不好，

泵油不足；或是泵油乳化，轴封漏油等故障。

一、检测漏率：

  用户最头疼的问题就是检测漏率。漏一一分内漏和外漏，外漏比较好检测，内漏则难

办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛

或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。

（1）漏和微漏的查找：

 小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了――也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。要反复几次，确认漏点。（2）漏和外漏的查找：内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。例：有一台25 kg中频炉，配有2X—70旋片泵和两台ZJ—150罗茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa, ZJ—150泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水，剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。

二、故障点的处理：

  找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法就是换件，小到胶圈，螺栓；大到阀门，真空泵，只要手头上有的都可以换。对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认是否达到了要求。