真空镀膜机操作步骤和故障处理方法

电控柜操作

1、玻璃真空镀膜机水泵及气源

2.打开主电源

3.打开检修泵和真空表电源，将真空表置于V1位置，等待其值小于10，然后进行下一步操作。大约需要五分钟。

4.打开机械泵，预抽，打开涡轮分子泵电源，启动，将真空表开关切换到V2位置，抽到2点以下，约20分钟。

5.待涡轮分子泵读数达到250后，关闭预抽，打开前机和高压阀继续抽真空。抽真空到一定程度后，打开右侧的高真空表，观察真空度。真空度达到2× 10-3后，枪就可以通电了。

二、DEF-6B电子枪电源柜的操作

2.真空镀膜设备同时打开电子枪控制I和电子枪控制II的电源：汽车玻璃镀膜时，按下电子枪控制I电源和延时开关，延时、电源和保护灯亮。三分钟后，延时和保护灯将熄灭。如果后门未关闭或水流继电器故障，保护灯将始终亮起。

3.打开高压后，高压将达到10kV以上，束流可调节到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流为1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

3、 停机顺序

1.关闭高真空计和分子泵。

2.当分子泵显示50时，依次关闭高阀、前级和机械泵，大约需要40分钟。

3.低于50时，关闭检修泵。

涂布机常见故障及处理

未检测到掩模钳翻转信号：

1.检查转向信号源位置

2.手动短接转向输入信号，使用转向检测功能。当计算机能够检测到信号时，证明问题出在转向控制开关上，并根据情况进行相应的处理。如果检测不到信号，请先检查电路，然后更换控制卡。

面罩夹翻转不稳定

1.检查襟翼的初始位置是否与正时一致

2.为了检测翻转控制开关是否工作稳定，可用指针式万用表进行跟踪监视。

3.检查翻转机构是否灵活可靠

4.检查转向信号频率设置

5.检查转盘与钟罩内壁是否有摩擦

6.检查转盘转动时的稳定性

在同一掩模夹具中，频率色散较大

1.检查芯片本身是否有较大的色散

2.检查胶片校正板的位置是否改变，并重新调整校正板

3.打开和关闭时，检查挡板是否完全覆盖钼船

4.检查炮击环是否完全覆盖钼船

5.检查钼船使用是否符合要求，使用圆钼船

罐子之间的频率差异很大

1.观察监视器有无跳频现象

2.反复测量统一监控芯片，观察振荡器的稳定性（不大于75Hz）

3.检查冷却水是否通畅

4.检查钼船使用是否符合要求，使用圆钼船

5.监控胶片的选用是否符合要求，建议使用我公司的监控胶片

涂层频率不停止：

1.检查频率参数设置是否正确

2.钼船电流表上有指示吗

3.船上有银吗

4.监视器是否跳频

5.修正系数是否错误

6.您是否在异常撤退后更换过显示器

未找到测试频率：

1.更换显示器

2.检查试验弹片是否变形

3.用5MHz晶体直接插入振荡器的输入端测量频率。如果有频率，证明探头有问题。如果没有频率，用计数器测量振荡器的输出频率是否异常。如果没有正常输出，证明振荡器有问题。如果输出正常，说明控制卡有问题

控制阀不动作：

1.检查5V电源是否有输出，连接是否良好

2.检查固态继电器板上的电源公共端子是否通电

控制阀不能单独工作

1.检查相应的固态继电器是否有输出

达到真空度前的工作：

1.数字真空计数量异常，30秒内无变化，如0.00-4（国内真空计常见现象）

2.打开真空表30秒后，黑色指针仍不摆动

监控胶片的使用原理

1.清洁显示器表面

2.监控件使用时应镀膜。禁止在空气中暴露超过12小时后使用

3.禁止使用有缺陷的监控膜及其表面

4.在使用过程中，应记录使用批次，严禁新旧混用

5.显示器的重复使用寿命为3次。